贝斯安在线分体式气体报警仪器有限空间泄漏监测案例
某电子半导体企业的光刻胶清洗车间地下检修舱为密闭有限空间，内部同时存在臭氧（O3）消毒残留、磷化氢（PH3）尾气泄漏及甲烷、液化气等可燃气体积聚风险，传统一体式设备因传感器易受腐蚀且监测组分单一，难以满足多元防控需求。企业选用贝斯安在线分体式气体报警仪器，搭配多组分探测模块与泄露探测器，实现“O3+可燃气体+磷化氢”同步监测，保障30人运维团队的检修及日常巡检安全。
方案核心采用分体式架构设计，优势显著：探测模块搭载三组专用传感器，O3采用紫外吸收式传感器（检出下限0.01ppm，抗高湿干扰），磷化氢用红外光谱传感器（0-5ppm量程，防中毒），可燃气体（甲烷、液化气等）采用催化燃烧传感器（0-100%LEL，响应≤3秒）；主机与探测头分体安装，探测头深入舱内高危区域，主机置于舱外安全区，避免腐蚀损坏。配套的声光报警仪具备分级预警，O3≥0.3ppm、磷化氢≥0.3ppm、可燃≥10%LEL时立即触发，声强≥115dB，灯光穿透密闭空间。
系统部署时，按“重点区域加密”原则，在检修舱进出口、管道接口处安装6套探测头，主机接入车间中控系统。试运行第5天，中控室收到报警信号：舱内O3浓度0.42ppm、磷化氢0.4ppm，同步显示泄漏点位于西侧管道焊缝。运维人员携带便携式探测器复核，确认是消毒管道密封失效及磷化氢尾气阀内漏。检修前，开启通风系统后监测显示O3≤0.05ppm、磷化氢≤0.03ppm，可燃气体为0，满足作业条件。检修中，液化气软管轻微泄露导致可燃浓度升至12%LEL，设备瞬时报警，人员立即关停阀门避险。
该方案运行8个月，累计监测到12次微量泄漏（O3 6次、磷化氢3次、可燃气体3次），漏报误报率均为0。分体式设计使探测头寿命延长60%，相比传统设备维护成本降低45%；多组分同步监测替代原3台单一设备，大幅节省部署空间。企业安全主管表示，设备的精准定位功能使泄漏处置时间从原40分钟缩短至8分钟，彻底解决有限空间“多风险并存、监测不全面”的痛点。目前，该设备已覆盖企业8个同类有限空间，实现有毒、可燃气体泄漏事故零发生，通过当地应急管理部门专项验收。
